Aello 5000 - Konzentrationsmonitor

Aello 5000 plus - integrierte Abwassertrennung
 
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Aello 5000 - Beschreibung

Der Aello 5000 dient zur Konzentrationsmessung submikroner Partikel in Flüssigkeiten unter sehr aggressiven Bedingungen. Um die Störsicherheit zu garantieren, erfolgt die Messung im Aello 5000 berührungslos. Besonders in CMP-Abwässern der Halbleiterindustrie hat sich das Messgerät bewährt. Abwässer von Tungsten-Slurries, die Rohrsysteme stark verunreinigen, können über Wochen mit dem System wartungsfrei vermessen werden. Das robuste und kompakte Design des Messsystems erlaubt In-line-Anwendungen für Prozess- und Qualitätskontrollen. Dank dem innovativen neuen Messprinzip besitzt Aello 5000 niedrige Instandhaltungskosten bei einem geringen Anschaffungspreis.

Als Messprinzip wird eine Rückstreumessung verwendet, wie sie auch in den Einstecksonden Aello 1500 und 1520 und der Durchflusszelle 1551 zum Einsatz kommt. Für das zu vermessende Stoffsystem wird im Vorfeld eine Eigenschaftsfunktion ermittelt (Kalibrierung). Diese erlaubt im Weiteren die automatische Ermittlung der Konzentration.

Der wachsende Verbrauch von Reinstwasser und Schlämmen in CMP-Prozessen in der Halbleiterindustrie verlangt neue Lösungen, um diese kostenintensiven Ressourcen zu sparen. Aello 5000 ist ein System zur Trennung von Abwasserströmen nach ihrer Konzentration und der Art der Belastung. Das Konzept erlaubt die zielgerichtete Behandlung von Schleif- und Polier-Abwasserströmen:

• Erhöhung des Anteils recycelten Wassers
• Reduzierung von Abfällen (Abwasserkosten)
• Recycling von Abprodukten (Zweitverwertung)
• Vorsorge gegen Blockieren von Abwasserrohren durch die Vermischung reaktiver chemischer Komponenten (Erhöhung der Betriebssicherheit)

Aello 5000 - Messbereich

Aello 5000 - Besonderheiten

• Kontaktloses Messen
• Niedrige Instandhaltungskosten
• Robustes Design
• Integrierter Mikroprozessor mit LCD-Display
• Menügeführtes Benutzer-Interface
• Programmierbarer Output
• Serielles Interface RS 232 (RS485)
• Industrieschnittstellen (4-20 mA)

• Bestehend aus Filter, Sensor, Wasserweiche
• Ein Kontrollfenster erlaubt eine schnelle Kontrolle des Filters hinsichtlich gebrochener Wafer
• Das kontaktlose Messprinzip erfordert kein Reinigen des Sensors
• Der integrierte Mikroprozessor kalkuliert die Konzentration und unterscheidet zwischen verschiedenen Arten von Festkörpern
• Menügeführte anwenderfreundliche Kommunikation über einen LCD-Display
• Vom Benutzer frei programmierbare Schaltwerte
• Übertragung der gemessenen Daten über ein RS 232 - Interface zu einem Überwachungssystem oder zu einem PC
• Software für Bezugsdaten für WIN 95/98/NT erhältlich
• Alle Teile können für Kontrollzwecke leicht demontiert werden

Aello 5000 - Einsatzbeispiele

• CMP-Abwässer - Wiedergewinnung von unbelasteten Spülwässern
• CMP-Tungsten - Trennung der Poliermittel im Abwasser - Verhinderung von Rohrleitungsblockaden
• Kupfer-CMP- Abtrennung der kupferhaltigen Abwasser - drastische Reduzierung der Kosten für die Chargenbehandlung
• allgemeine Abwasserüberwachung
• Steuerung von Mikro- und Nanomahlprozessen
• Steuerung der Dosierung des Feststoffgehaltes bei der Suspensionsansetzung
• Qualitätsüberwachung bei der Herstellung von nanoskalierten Dispersionen
• Mischungsprozesse von Nanodispersionen